-瞬時3D表面形貌測量

-測量5微米至9毫米深的缺陷和特征

-直接測量大型組件?-?無需復(fù)制

-輕松測量復(fù)雜的幾何形狀

-手持式，工作站或配合機(jī)器人

基本規(guī)格

采 ? ?集 ? ? ? ? ? ? ? ? ? 即時，非接觸式三維表面測量

測量范圍 ? ? ? ? ? ? ? ?5μm-9mm深/高 缺陷和特征

視場范圍（模塊） ? 15.0 x 15.0 mm

橫向采樣 ? ? ? ? ? ? ? ?12.5μm

垂直分辨率 ? ? ? ? ? ? ?2.5μm

安 ? ?裝 ? ? ? ? ? ? ? ?手持或工作站

工作距離 ? ? ? ? ? ? ? ?60毫米

軟件

軟件分析 ? ? ? ? ? ? ? ?4D InSpec控制和分析軟件

測量模式 ? ? ? ? ? ? ? ?單次曝光模式，分辨率增強(qiáng)的多次曝光模式

缺陷檢測 ? ? ? ? ? ? ? ?基于高度和面積閾值的特征識別

缺陷計算 ? ? ? ? ? ? ? ?最大高度，體積，面積，最大斜率，密度，縱橫比，XY位置

數(shù)據(jù)顯示 ? ? ? ? ? ? ? ?輪廓，3D圖形，任意位置處的XY截面圖

數(shù)據(jù)輸出 ? ? ? ? ? ? ? ?3D表面圖形，特征分析統(tǒng)計表

數(shù)據(jù)選取 ? ? ? ? ? ? ? ?基于信噪比的屏蔽，利用矩形ROI屏蔽算法進(jìn)行分析

導(dǎo)入導(dǎo)出 ? ? ? ? ? ? ? ?將數(shù)據(jù)導(dǎo)出到XYZ點云

計算機(jī) ? ? ? ? ? ? ? ? ?一體式觸摸屏電腦，筆記本電腦或客戶自己提供

電氣/機(jī)械

尺 ? 寸 ? ? ? ? ? ? ? ? ?280mmx 50mmx 70mm

光 ? 源 ? ? ? ? ? ? ? ? ?450納米LED，平均無故障時間100,000小時

傳感器 ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1200 x 1200 像素, 12位 CMOS 相機(jī)

電力消耗 ? ? ? ? ? ? ? ? 4D InSpec部分＜10 W；計算機(jī)系統(tǒng)＜250 W， 120伏電壓

重 ? ?量 ? ? ? ? ? ? ? ? 0.9公斤

電纜長度 ? ? ? ? ? ? ? ? 3米

工作溫度 ? ? ? ? ? ? ? ? 50-86°F（10-30°C）

工作濕度 ? ? ? ? ? ? ? ? > 98％，無冷凝

性能

本底噪聲 ? ? ? ? ? ? ? ? <2.5μm

垂直重復(fù)性 ? ? ? ? ? ? ?<1μm

精度（標(biāo)準(zhǔn)塊） ? ? ? ?<2％

重復(fù)性（標(biāo)準(zhǔn)塊） ? ? < 0.5%

景 ? ?深 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?9mm

最小粗糙度 ? ? ? ? ? ? ? Ra ~120 nm

保修一年

如需了解詳細(xì)產(chǎn)品性能，歡迎來電咨詢：15904050478