產(chǎn)品簡介

661型三維表面形貌儀是一款高速的三維形貌儀，掃描速度可達(dá)200mm/s,采用國際領(lǐng)先的白光共聚焦技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，該儀器可用于測量大尺寸樣品或質(zhì)檢現(xiàn)場使用。
產(chǎn)品特性
采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率
測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高
測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
不受樣品反射率的影響
不受環(huán)境光的影響
測量簡單，樣品無需特殊處理

Z方向,測量范圍：為100mm
主要技術(shù)參數(shù)
掃描范圍：600mm×600mm×100mm
掃描步長：0.5um或0.1um
掃描速度：200mm/s
Z方向測量范圍：27mm
方向測量分辨率：1nm
產(chǎn)品應(yīng)用
MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)

主要用于

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高速三維表面形貌檢測

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