產(chǎn)品簡介
111型三維表面形貌儀是一款科研版的三維表面形貌測量設(shè)備，采用白光共聚焦技術(shù)，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點，該儀器性價比高，可用于取代傳統(tǒng)的探針式表面形貌儀與干涉式表面形貌儀。
產(chǎn)品特性
采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率
測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高
測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋 光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
不受環(huán)境光的影響
測量簡單，樣品無需特殊處理
Z方向,測量范圍大：為27mm
主要技術(shù)參數(shù)
掃描范圍：100×100×100（mm）
掃描步長：0.5μm或0.1μm
掃描速度：可達到50mm/s
Z方向測量范圍：27mm
Z方向測量分辨率：1nm
產(chǎn)品應(yīng)用
精密零件表面粗糙度和微觀形貌測量、MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能、摩擦磨損、汽車、腐蝕、砂紙、巖石等。

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