產(chǎn)品簡介
222型三維表面形貌儀是一款多功能的三維形貌儀，采用白光共聚焦技術(shù)，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復性好的優(yōu)點，該儀器可用于測量大尺寸樣品，并具有多種選項，包含360°旋轉(zhuǎn)工作臺，接觸式測針、非接觸式傳感器等多種功能模塊。
產(chǎn)品特性
采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率
測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高
測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
不受樣品反射率的影響
不受環(huán)境光的影響
測量簡單，樣品無需特殊處理
Z方向,測量范圍大：為27mm
主要技術(shù)參數(shù)
掃描范圍：200mm×200mm×200mm
掃描步長：0.5μm或0.1μm
掃描速度：50mm/s
Z方向測量范圍：27mm
方向測量分辨率：1nm

可選配：白光測頭、影像測頭、接觸式粗糙度測頭、微孔粗糙度測頭、雙軸轉(zhuǎn)臺。
產(chǎn)品應用
精密零件表面粗糙度和微觀形貌、MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)。

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